屏幕上，摆在他们面前的是碳基芯片的第一道工艺——碳纳米管提纯。 这是一道新的工艺。 碳纳米管的提纯这可不是一个容易的事情。 碳纳米管相当于把石墨烯卷成筒状，根据对齐的方式不同，碳纳米管就会表现出不同的特性，有些是金属性质的，有些是半导体性质的。 而芯片制造要的就是半导体性质的。 之前他们提纯的半导体碳纳米管纯度是99.99995%，俗称六个9纯度。 虽然这个纯度已经足够碳纳米管在集成电路上的使用，但是想要大规模量产应用的话，这个纯度还需要往上再提高两到三个数量级才能保险。 而从屏幕上的新工艺描述来看，这种新工艺能达到的纯度是99.9999999%！ 九个9！ 而且众人越看，就越是觉得这种制备提纯的工艺跟他们现在使用的多次聚合物分散提纯工艺相似过头，甚至就连方法步骤都很相似。 都是对碳纳米管使用某种特殊的分散剂，随后反复三次进行分散、提纯、抽滤、清洗的步骤…… 可以说除了这道工艺里面使用了另外一种更为关键的特殊分散剂，其他的部分不说九成，至少也有八成与他们目前研发出来的工艺相似。 “这……我怎么感觉这种工艺跟我们的差不多？方案上面描述的那种分散剂真的有那么神奇吗？” “不知道啊，这上面没有分散剂的具体信息，不过据我所知目前应该没有一种分散剂可以达到这种效果的吧？” “可能是一种新的分散剂？” 会议室里面的众位研究员已经忍不住在底下私语。 这倒不是抄袭，工艺程序这种东西是不会有专利的，不可能说他们这么干了，其他人就不能再走这个思路。 只能说上面的工艺是在他们的工艺基础上针对分散剂、聚合物选择、多次提纯工艺和聚合物分离方面进行了许多改进，而且改进的效果还很明显，纯度后面多出的那三个9就是明证。 前面的刘院士也有听到众人的话，不过他只是气定神闲地说了一句：“先继续看吧，等到放完了，我会给大家答疑。” 众人只好按下心里的疑惑，继续往下面看。 接下来是碳纳米管的排列组合，从这里开始，陈神便使用了DNA作为工具。 这个方向与另一位圆明园职院教授的研究方向相近，跟刘院士团队的研究方向有所差别。 不过在场的众人都能够一眼看出来，屏幕上的工艺跟上一道工艺一样，都是进行了改良。 不过具体改良了什么步骤，改了多少，他们就看不出来了，毕竟这不是他们的研究成果，肯定没有那么熟悉。 但是从效果的描述上面来看，显然是远超于原版效果的。 因为屏幕上面的工艺从碳纳米管的排列开始，一直延续到使用DNA模板工具在金属膜上刻蚀出纳米图形！ 这种工艺的完整度完全超出众人的想象。 当看到这里的时候会议室里直接炸开了锅，大家都忍不住低声议论。 这种工艺简直让人疯狂！ 如果这种工艺真的能够实现的话，毫无疑问碳基芯片的工业量产就在明天。 只要有了可以实现的工艺，无论量产有多大难度，国内的工程师们都会出尽所有的力气解决！ 而且这实现的还是14纳米制程的碳基芯片！ 他们现在连90纳米制程都还没有搞出来呢…… 恍惚间，众人都不禁有了一种时空错乱的感觉。 刘院士依然还是那副气定神闲的样子，或者说他早就已经从惊讶中冷静下来了。 “都静一静，我们继续往下看。” 接下来的工艺相对来说比较简单，因为从这一步开始，碳基芯片就进入到了刻蚀步骤。 从这里开始，往后一直到封装的工艺，与硅基芯片的工艺重合度很高。 基本都是14纳米硅基芯片的工艺，只不过进行了一些适应性的改造，虽然有所改变，但是不大。 众人看完，感觉就像是三伏天在空调房里吃冰棍一样，有一种畅快淋漓的感觉。 他们回想起刚刚屏幕上的内容，工艺可以说已经十分完整了。 “不过还是有一些地方缺少了，比如新晶圆的制作上面就没有。” 谢雨跟眼镜师兄发表自己的看法。 碳基芯片生产所需要的晶圆自然不可能跟硅基芯片的完全一样，也是要经过一定的改良的。 这时候前面的刘院士站了起来，他拍了拍手，把还在讨论的众人吸引过来。 “大概的资料大家已经看完了，大家有什么问题现在就问吧。” 谢雨第一个举起了手。 “说吧。”刘院士马上点了她的名。 她站起来，“这个工艺是哪一所研究院的成果，怎么会领先我们这么多？这也太奇怪了吧？” 对啊，怎么会领先我们这么多？ 谢雨问的问题，也是其他人想问的问题。 据他们所知，他们应该是国内研究碳基芯片走在最前面的队伍了，就连他们都还在